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ASML的下一代EUV光刻机的推迟时间:至少2025年

ASML两天前发布了财务报告,年净销售额为140亿欧元,已出货31台EUV光刻机,带来了45亿欧元的收入,单位价格接近11.4亿欧元。尽管性能增长非常引人注目,但是ASML也存在一些隐患。
实际上,EUV光刻机的出货量少于预期的35台,他们还宣布下一代高NA EUV光刻机要到2025年至2026年才能上市。大规模申请意味着它将被推迟。
先前的信息显示,ASML的下一代EUV光刻机最早将于2022年开始提供样品,批量生产将在2024年至2025年之间。ASML的EUV光刻机目前主要是NEX:3400B / C系列,NA数值孔径为0.33,下一代EUV光刻机为NEX:5000系列,这可以将NA增加到0.55,这意味着光刻机的分辨率得到了提高。
70%。 (注:NA越高,光刻机的精度越高。
)当前的EUV光刻机可用于制造从7nm到3nm工艺的芯片,下一代EUV光刻机的目标是3nm,2nm或以下的节点。将来甚至会使用1纳米的NA0.55 EUV光刻机。

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