汽车电子稳定程序（ESP）微传感器和系统取得了初步成果

先进制造领域的863项目“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器和系统”已针对汽车电子应用的需求优化了MEMS陀螺仪和加速度传感器的结构，并开发了基于体硅的SOI和晶片。低成本MEMS微陀螺仪和微加速度计芯片的第一级封装工艺已经克服了数字陀螺仪电路设计，加速度计ASIC电路设计技术和预成型腔体塑料封装技术，并开发了具有自主知识产权的MEMS陀螺仪，用于ESP和加速度计产品。
本课题突破了6英寸MEMS传感器芯片工艺技术，采用PCM监控和SPC控制技术，实现了对微传感器关键工艺参数的在线监控，建立了微传感器晶圆片上自动测试平台，并掌握了MEMS传感器的批量生产。制造技术方面，MEMS陀螺仪芯片的加工良率达到80％，MEMS加速度计芯片的良率达到90％。
开发了基于MEMS陀螺仪和加速度传感器的汽车ESP系统，完成了硬件和算法的初步研究，ESP系统的匹配测试和负载验证，ESP系统的路试和抗干扰测试。同时，已验证MEMS传感器的性能和可靠性符合ESP系统的要求。
该主题已申请了4项发明专利。